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세균 크기 로봇이 몸속에 들어가 치료하는 마이크로 머신 전성시대 온다과학동아 l1993년 05호

${10}^{9}$) 시대를 열 것으로까지 전망되고 있으며 이에 따라 회로가공 단위는 0.5μ 이하, 집적소자수는 1억개 이상 되는 극초정밀 세계의 구현을 눈 앞에 두고 있다. 이러한 반도체산업의 눈부신 발전에 강력한 자극을 받고 이를 이용함으로써 마이크로 머신의 개발이 시작되었다.실리콘 기판 위에 ... ...