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"파내기"(으)로 총 11건 검색되었습니다.
- 1. 고집적 어디까지 가능한가과학동아 1992년 11호
- 0.5㎜ 정도의 편평한 실리콘(Si)기판을 사용해 그 위에 집을 짓듯이 만들어 간다. 기판을 파내기도 하고(식각공정) 다른 물질을 쌓기도 하며(증착공정) 트랜지스터 동작에 없어서는 안될 유용한 불순물을 심기도 한다(이온주입공정). 이러한 각 공정에서 패턴을 만들어 주기 위해 리소그래피공정을 ... ...
